工零部件和组装精度的一般测量项目有外形、直径、基准面及轴的直角度、轴的圆度、圆柱度等。通常使用游标卡尺或者千分尺进行1次元测量。此类测量方法，以平台和直线导轨为基准面，可以进行复合性的3次元测量，但是，无法应对几何偏差（例如：平面度、平行度、直角度、同轴度等）和曲面形状的精密测量。

因为CNC加工机床等的普及，生产实践中往往都是上述测量方法无法应对的复杂高精度加工，所以此类测量，正好适用3次元测量仪

3次元测量仪具有下述测量效果。

（1）3次元测量仪的效果

（1）可以进行复杂形状的测量

■ 例如

以2个基准孔位置为组装基准时，根据组装基准测量形状。

（2）可以提高测量效率

■ 解说

不使用3次元测量仪时，需要正确定位被测物的基准线（面）和测量仪器侧的基准线。但对于3次元测量仪，即使倾斜状态下也可以进行测量。

（3）无需熟练即可进行高精度测量

■ 解说

可以规避测量人员的习性（测量力度的偏差、基准线的定位习惯等）。

（4）可以实现加工中测定。

（5）可以综合处理庞大的测量数据。

（2）3次元测量仪的构成

基本构成由测量机主体、测量探头单元、XYZ轴驱动控制系统、计算机系统、手动操作单元、周边设备组成。

（3）测量原理

使用测头接触测量对象，运用光学尺和激光干涉仪等以3次元空间座标的形式，测量该时的探头座标，并将其作为形状信息使用。因为可以与NC机床一样，使用计算机软件进行驱动控制，同时可以进行庞大测量数据的计算处理，所以能够自动测量包括复杂曲面在内的各种测量对象物。